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YAMATO 等离子清洗机 PDC200/210/510

产品分类

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PDC 1
PDC2
PDC 1
PDC2
1111

YAMATO 等离子清洗机 PDC200/210/510

零售价
0.0
元
市场价
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元
浏览量:
1000
产品编号
所属分类
YAMATO
数量
-
+
库存:
0
1
产品描述
技术规格
技术应用链接:
使用等离子的表面处理装置。着重于使用简单的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。特点●CSP、BGA、COB基板的等离子清洗●去除有机膜和金属氧化膜●印刷电路基板的干式清洗●界面活性处理●LED封装用途●DP模式（PDC510标配PDC200210选配）●RIE模式●均匀性高的电极构造●操作简单的触摸屏控制器
未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIE（DP模式选配）

RIE/DP

电极构造

平行平板（固定）

高频输出

Max300W

Max500W

频率

13.56MHz

控制·显示

液晶触摸屏

反应室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

电极尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反应室材质

铝

反应气体

2系统（Ar、O2）

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量控制

流量计

聚合控制器

真空泵

另行选配

油泵（约345L/分）标配

油泵（约500L/分）标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

约100kg

约105kg

约180kg

电源

单相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A
上一个
yamato 等离子清洗机 V1000系列
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YAMATO 等离子灰化机 PR200/300/301
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