Bruker布鲁克三维光学表面测量系统GT-X
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Bruker白光干涉仪
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Bruker布鲁克三维光学表面测量系统GT-X
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Bruker GT-X型三维光学表面测量系统是Bruker 公司三维光学显微镜Contour系列中的旗舰产品。具备全自动、大样品测试能力的GT-X是目前市场上大视场、垂直分辨率高、可定标的计量式表面测试系统。从基本概念设计开始,GT-X就是为满足目前具挑战性的测量需求,如产品研发、质量保证和工艺监控等各种苛刻要求,而打造的。下面是Bruker GT-X产品的技术优势:
- 计量准确性和测试灵活性的标杆
- 高亮度长寿命双LED照明光源的计量传感设计,确保测量各种不同反射率样品时均能获得准确有效数据。
- 计量式优化激光自校准的有设计,保证每一次测量过程中,高度数据都准确、有据可依。长期使用时无需担心设备出现偏差,也不再需要通过人工进行标样校准。
- 配合精密扫描头部设计,整体大理石成型的落地式集成防震系统,确保设备测量时测试数据重复性和长期使用时可靠性。
2. 高效、快速的纳米级测量结果
- 全自动测量功能集于一身,包括高速自动聚焦、自动亮度调整、自动扫描头倾斜优化、自动样品台编程、自动放大镜选择等。
- 在大起伏表面仍能得到纳米分辨,其RMS重复性高达0.004 nm。
3. 强大的测量与分析功能
- 可定制的模块化可视操作软件界面,包含用于实验室的工程师界面或工厂的生产界面。
- 实时的自动优化测量和三十多年积累的丰富数据分析功能:用户通过引导界面,轻松实现对所需测量样品位置、测量参数、结果分析和数据输出等的设定,编写测试和分析程序后,可自动实现批量样品多点测试和大面积范围扫描等。还可以在数据库中设定规格控制标准自动对合格/不合格产品甄别。
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关键词:
非接触光学轮廓仪
BRUKER
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