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yamato 等离子清洗机 V1000系列

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yamato 等离子清洗机 V1000系列

yamato 等离子清洗机 V1000系列
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产品编号
所属分类
YAMATO
数量
-
+
库存:
0
1
产品描述
技术规格
技术应用链接:
使用等离子的表面处理装置。着重于使用简单的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。特征●可变更电极构造提高等离子效果。●搭载高精度适配器，高性能RF电源。●可根据需求规格提供定制。用途●硅晶圆的灰化及蚀刻●基板表面污垢处理●ICLED封装、BGACSP基板处理●半导体相关部品的电子材料的干式清洗●自然氧化膜有机物去除●界面活性处理●表面污染物去除
关键词:
yamato
等离子清洗机
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型号

V1000

V1000X

V1000XS

等离子模式

DP/RIE

高频电源

13.56MHz

输出功率

Max1000W

Max1000 & 1500W

有效电极尺寸

W280×D280mm

W300×D300mm

W400×D375mm

电极

平行平板

2段电极（独立）

平板（多目的）

反应气体

聚合控制器2系统（填充气路另行安装）

真空泵（标配）

约1000L/min

约1500L/min

1000 & 1500L/min

安全装置

门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

 

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YAMATO 等离子清洗机 PDC200/210/510
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