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YAMATO 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C

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YAMATO 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C

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YAMATO

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产品描述

技术规格

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特点最高工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。安全性拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。

型号			DTN430C	DTN630C	DTN450C	DTN650C
方式			氮气置换 + 强制送风循环
性能	使用温度范围		室温 +50 ～ 360℃		室温 +50 ～ 500℃
	温度调节精度		±0.5℃（at360℃）		±1.0℃（at500℃）
	温度分布精度		±5.0℃（at360℃）		±8.0℃（at500℃）
	最高温度到达时间		约 80分		约 110 分
	氧浓度		20ppm 以下
	氧浓度到达时间		≤ 20 分（250L/min 氮气）	≤ 25 分（250L/min 氮气	）≤ 20 分（250L/min 氮气）	≤ 25 分（250L/min 氮气）
	洁净度		温度恒定时 100 级
构成	内装		不锈钢板
	外装		冷轧钢板，表面耐药品性涂装
	断热材		硅酸铝棉
	加热方式		不锈钢加热管		合金加热丝
	加热功率	主加热器	6.75KW	9KW	9.5KW		14.2KW
		N2 预热	1KW
	冷却机构		不锈钢冷却水换热器
	HEPA 过滤器		集尘效率：0.3um 粒子 99.97% 以上
控制器	温度控制方式		PID 控制
	温度控制器		液晶触摸屏 +PLC
	运行功能		手动定值运行、自动程序运行
	程序模式		程序运行 9 个，每个程序可设置 9 步（可扩展）
	附加功能		操作员等级认证
	加热器回路控制		SSR 驱动
	传感器		K 型热电偶（温度控制及过升防止器）
安全装置			门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等
规格	内尺寸（宽 × 深 × 高 mm）		450×450×450	660×500×660	450×450×450	660×500×660
	外形尺寸（宽 × 深 × 高 mm）		1090×950×1540	1300×1000×1750	1240×1010×1750	1450×1060×1960
	内容积		91L	216L	91L	216 L
	棚板层数 / 层间距		12 层 /30mm	19 层 /30mm	12 层 /30mm	19 层 /30mm
	排气口		40KF 法兰
	氮气入口		Rc1/2
	冷却水入口		Rc3/4
	热水出口		Rc3/4，2 个
	电源（50/60Hz）额定电流		3 相 AC380V 16A	3 相 AC380V 19A	3 相 AC380V 20A	3 相 AC380V 27A
	重量		约 900kg	约 1100kg	约 900kg	约 1100kg
选购品			棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机 / 运行 / 故障）、以太网通信功能

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