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Diener 等离子表面处理仪 Bel Jar35

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Diener 等离子表面处理仪 Bel Jar35

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产品编号
所属分类
真空型
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技术数据:

 

·外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm

·腔室容积:约 35 升

·供电电源:230 V / 16 A

·气体供给:3 个质量流量控制器 (MFC)

·真空腔室: 硼硅玻璃材质的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm

·溅射源: 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板(针对反应性过程,可选配排烟管和进气口)

·基材支架: ∅ 140 mm(可选择旋转型、基材加热装置、基材冷却装置), 可切换为等离子预处理的电极(清洗、活化、蚀刻)

·控制系统:PC-控制系统 (Microsoft Windows XPe) 

·压力测量装置: Pirani

·真空泵: 不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

 

其他选项: 

·备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。

 

其它选项功能

·发生器频率:    40 kHz:功率 0 - 500 W

·3.56 MHz:功率 0 - 300 W

·直流偏置电源或单极性脉冲

·功率最大为 300 W 电压最大为 600 V DC

·发生器为 0 - 100% 无级可调型

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  技术数据:

  • 外壳约宽 560 mm x 1640 mm x 620 mm
  • 腔室容积:约 35
  • 供电电源:230 V / 16 A
  • 气体供给:3 个质量流量控制器 (MFC)
  • 真空腔室: 硼硅玻璃材质的玻璃罩 315 mm x 500 mm
  • 溅射源: 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板(针对反应性过程,可选配排烟管和进气口)
  • 基材支架:  140 mm(可选择旋转型、基材加热装置、基材冷却装置), 可切换为等离子预处理的电极(清洗、活化、蚀刻)
  • 控制系统:PC-控制系统 (Microsoft Windows XPe) 
  • 压力测量装置: Pirani
  • 真空泵: 不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)
  • 其他选项: 备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。
  • 其它选项功能
  •  发生器频率:    
  • 40 kHz:功率 0 - 500 W
  • 13.56 MHz:功率 0 - 300 W
  • 直流偏置电源或单极性脉冲
  • 功率最大为 300 W 电压最大为 600 V DC
  • 发生器为 0 - 100% 无级可调型
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