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Diener 等离子表面处仪 Tetra830

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Diener 等离子表面处仪 Tetra830

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Tetra 830 AL-PC | 两个门 

开关柜:宽 600 mm、高 1,700 mm、深 800 mm

腔室:900 mm、高 400 mm、深 2300 mm

门:2 个(正面 1 个,背面 1 个)

腔室容积:约 830 升

气体供给:通过 MFC 控制的 1 个气体通道

发生器:1 个 (80 kHz)

控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化:本设备可集成于一条生产线中。

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