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Tetra8000
腔室:宽 1700 mm、深 2800 mm、高 1700 mm
腔室容积:约 8000 升
气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
发生器:4 个(各为 40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
关键词:
Diener
等离子表面处仪
Tetra
Diener
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