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Diener 等离子表面处仪 Tetra5600

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Diener 等离子表面处仪 Tetra5600

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Tetra 5600 LF-PC | 特殊设备

腔室:宽 2250 mm、深 2450 mm、高 1000 mm

腔室容积:约5600 升

气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道

发生器: 40 kHz,80kHz

控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

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