Diener 等离子表面处仪 Tetra1200
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Tetra 1200 LF-PC | 特殊设备
开关柜:宽 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm
腔室:宽 600、高 1000 mm、深 2000 mm
腔室容积:约 1200 升
气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
发生器:3 个(各为 40 kHz)
控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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关键词:
Diener
等离子表面处仪
Tetra1200
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