Diener 等离子表面处仪 Tetra120
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Tetra 120 LF-PC | 特殊设备
开关柜: 宽 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室: 宽 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
腔室容积: 约120 升
气体供给: MFC 控制的气体通道
发生器: 40 kHz,13.56 MHz
控制系统: PC 控制系统 (Windows)
关键词:
Diener
等离子表面处仪
Tetra120
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