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Diener 等离子表面处仪 Tetra120

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Diener 等离子表面处仪 Tetra120

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Tetra 120 LF-PC | 特殊设备

开关柜: 宽 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm

腔室: 宽 700 mm、高 200 mm、深 700 mm

腔室容积: 约120 升

气体供给: MFC 控制的气体通道

发生器:  40 kHz,13.56 MHz

控制系统: PC 控制系统 (Windows) 

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