技术应用链接:
Diener 等离子蚀刻机
ZEPTO RIE特点：
·适用6寸以下样品的处理
·用于塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式，实现控制高机能
·桌上型，省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用
用途：
·表面清洗活化
·表面蚀刻
Diener 等离子蚀刻机
ZEPTO RIE特点规格
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ZEPTO RIE |
Zepto RIE PCCE |
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控制方式 |
按键操作控制 |
Windows CE 7”触摸屏操作控制 |
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操作方式 |
手动 |
手动/自动 |
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程序存储 |
— |
5组 |
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工艺过程监控 |
— |
二维折线图与数字实时显示 |
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报错功能 |
— |
显示详细的报错信息 |
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工艺气路 |
双路 |
单路，双路 |
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工艺气体 |
O2，Ar，N2，CO2，H2 |
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流量计 |
针阀流量计 |
MFC流量计 |
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泄气气路 |
一路 |
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真空计 |
指针式/0-10mbar |
数字式/0-9.99mbar |
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计时器 |
0-100s 0-1000s(出厂默认) 0-1000s |
0~999.9H |
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真空腔体 |
不锈钢圆形腔体 盖子门带观察窗 尺寸Φ190mm x H60mm 容积1.7L |
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电极 |
不锈钢气浴RIE电极， Φ160mm |
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发生器 |
40kHz 0~100W，13.56MHz 0 ~50 W，13.56MHz 0 ~300 W |
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外形尺寸（WxDxH） |
425 x 450 x 310mm |
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电源 |
AC 230 V / 16 A |
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真空泵 |
排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa |
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关键词:
Diener
等离子蚀刻机
ZEPTO RIE
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