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Diener 等离子蚀刻机 ZEPTO RIE

产品分类

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Diener 等离子蚀刻机 ZEPTO RIE

零售价
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市场价
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浏览量:
1000
产品编号
000004
所属分类
蚀刻机
数量
-
+
库存:
0
技术应用链接:

特点:

·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式,实现控制高机能

·桌上型,省空间

·适合于研究院、高校、研发中心使用

 

用途:

·表面清洗活化

·表面蚀刻

 

 

规格

型号

ZEPTO RIE

Zepto RIE PCCE

控制方式

按键操作控制

Windows CE  7”触摸屏操作控制

操作方式

手动

手动/自动

程序存储

5

工艺过程监控

二维折线图与数字实时显示

报错功能

显示详细的报错信息

工艺气路

双路

单路,双路

工艺气体

O2ArN2CO2H2

流量计

针阀流量计

MFC流量计

泄气气路

一路

真空计

指针式/0-10mbar

数字式/0-9.99mbar

计时器

0-100s

0-1000s(出厂默认)

0-1000s

0~999.9H

真空腔体

不锈钢圆形腔体

盖子门带观察窗

尺寸Φ190mm x H60mm

容积1.7L

电极

不锈钢气浴RIE电极, Φ160mm

发生器

40kHz 0~100W13.56MHz  0 ~50 W13.56MHz  0 ~300 W

外形尺寸(WxDxH

425 x 450 x 310mm

电源

AC 230 V / 16 A

真空泵

排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa

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