技术应用链接:
特点:
·便捷的触摸屏操作界面
·专用软件支持自动/手动操作模式可切换(自动模式下可储存多套工艺程序),支持操作权限分级设定
·数字及图形化工艺参数控制及实时显示
·支持6"/8"/12" wafer的去胶清洗
·安全及异常报警功能
·多语言:法语、英语,德语,中文
用途
· 去除光刻胶
· 干刻或湿刻处理前或后
· SU-8或其他环氧基树脂
· MEMS制造中去除牺牲层
· 去除光刻胶,SU-8,环氧树脂
上一个
无
友情链接:尔迪kashiyama真空泵 尔迪仪器网
上海尔迪仪器科技有限公司
微信公众号
企业微信