搜索
确认
取消
>
>
Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP

产品分类

111222-1
111222-1
1111

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP

bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP,更多bruker相关产品,可联系上海尔迪仪器科技有限公司,拨打电话021-61552797
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
所属分类
产品中心
数量
-
+
库存:
0
技术应用链接:

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight  CAP

——紧凑型高性能剖面仪和AFM

更多bruker相关产品,可联系上海尔迪仪器科技有限公司,拨打电话021-61552797

Bruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸,可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂,InSight CAP profiler可以优化配置,以获得具成本效益的计量解决方案。

 

·< 0.5 nm长期动态再现性

用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量

 

·亚纳米
CMP自动计量的灵敏度,专用碟形和腐蚀计量包,用于过程控制和开发

 

·<20nm
仿形平面度大于26mm
针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量

 

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight  CAP

在线计量结果以分钟为单位,适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制

在高级技术节点,多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求,以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建,在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度,小于10纳米。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度,以提高生产效率,所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能,可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。

灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸,可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂,InSight CAP profiler可以优化配置,以获得具成本效益的计量解决方案。

 

 

关键词:
bruker
布鲁克
全自动原子力显微镜
CAP
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂时没有内容信息显示
请先在网站后台添加数据记录。

相关产品

暂时没有内容信息显示
请先在网站后台添加数据记录。
暂时没有内容信息显示
请先在网站后台添加数据记录。