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Bruker布鲁克台阶仪-表面轮廓仪 Dektak XT

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Bruker布鲁克台阶仪-表面轮廓仪 Dektak XT

bruker台阶仪 需要bruker其他型号的产品,可拨打电话021-61552797咨询上海尔迪仪器科技有限公司
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Bruker布鲁克台阶仪

想了解相关产品,可联系上海尔迪仪器科技有限公司,拨打电话021-61552797

德国布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以达到5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新,更加巩固了其行业地位。不论应用于研发还是产品测量,通过在研究工作中的广泛使用,DektakXT能够做到功能更强大,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。

第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术突破,使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。


台阶仪Dektak XT能实现:


·  无可匹敌的性能,台阶高度重现性低于4埃
·  Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性
·  先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准
·  新硬件配置使数据采集时间缩短40%
·  64-bit,Vision64同步数据处理软件,使数据分析速度提高了10倍
·  频率,操作简易
·  直观的Vision64用户界面,操作简易
·  针尖自动校准系统
·  布鲁克(Bruker)以实惠的配置实现高的性能
·  单传感器设计,提供单一平面上低作用和宽扫描范围

 

40多年不断创新

 

建立在40多年的探针轮廓技术创新的知识和经验之上薄膜测试仪,在基于微处理器的轮廓仪,和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪,内置真彩高清光学摄像机,及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪
 

有超过一万台设备,品牌Dektak以质量、可靠性及高性价比著称。当需要台阶高度、表面粗糙度、可靠测量时,人们就会借助Dektak。引进DektakXT,Bruker能让您进一步获得可靠及表面测量

 

提高数据采集和分析速度

 

利用直接驱动扫描平台,Dektak XT减少了扫描间的时间,而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描(就探针轮廓仪而言,通常是耗时的)的扫描速度。在保证行业的质量和重现性前提下,DektakXT可以将数据采集处理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64,它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内有效的直观用户界面,简化了实验操作设置,自动完成多扫描模式,让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。

 

需要bruker其他型号的产品,可拨打电话021-61552797咨询上海尔迪仪器科技有限公司

 

关键词:
布鲁克
表面轮廓仪
光学轮廓仪
白光干涉仪
Dektak-XT
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参数:

 

测试技术

探针式表面轮廓测量技术(接触模式)

测量范围

二维表面轮廓测量

可选择三维测量以及数据分析

样品观测

可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1~4mm

探针传感器

低惯性量传感器 (LIS 3)

探针作用力

LIS 3 传感器中 1~15mg

低作用力模式

N-Lite+  低作用力  0.03~15mg

探针选项

探针曲率半径  50nm~25um

高径比针尖(HAR)10um×2um 和200um×20um ;也可以采用客户定制针尖

样品 X/Y 载物台

手动 X/Y(4英寸):100mm*100mm,可手动校平

自动 X/Y(6英寸):150mm*150mm,可手动校平

样品R/Ɵ 载物台

手动,360度连续旋转

自动,360度连续旋转

计算机系统

64位多核并行处理器,Windows® 7 系统;可选配23英寸平板显示器

软件

Version 64 操作分析软件,应力测量软件,悬臂偏转测试软件;

选配:缝合软件;3D应力分析软件;3D测量软件

隔振系统

多种隔振方案可供选择。

扫描长度范围

55mm 2英寸)

单次扫描数据采集点

120,000

样品厚度

50mm (2英寸)

晶片尺寸

200mm (8英寸)

台阶高度重复性

<5Å, 1sigma on 0.1μm step

垂直方向扫描范围

1mm (0.039英寸.)

垂直方向分辨率

分辨率可达1Å  (在6.55um测量范围内 

输入功率

100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

温度范围

可以操作温度为20~ 25°C (68~77°F)

湿度范围

≦80%,无凝结

系统尺寸和重量

455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H);

34kg (75lbs.);

隔离罩:550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in.W x 17.5in. H);

5.0kg (11lbs.)

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