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kashiyama MU系列 真空泵
·在蚀刻等中等负载工艺中实现低功耗表现
·占地面积较同类 20,000L/min 泵缩小约 35%
·增强工艺耐久性并提高能源效率
·符合各种标准的规范产品规格
·升级的工艺耐久性与节能性能
kashiyama MU系列 产品规格
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型号
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MUP600E
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MUP1200E
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MUP1800E
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MUH3000
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最大排气速度（l/min）
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10000
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19000
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30000
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50000 |
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极限压力(Pa)
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0.5 | |||
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电源(50/60Hz)
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3P AC200-220V
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功率(kW)
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0.8
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0.95
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1.1 |
1.6
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冷却水量/N2量
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2l/min
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氮气吹扫
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0-45
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0-60
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外形尺(LWH)mm
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695×285×655
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850x380x950
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910X420X900
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kashiyama真空泵
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干泵
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