技术应用链接:
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力,可实现高速泵送,最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
关键词:
SDL12E50
KASHIYAMA
坚山真空泵
贴合真空泵
KASHIYAMA SDL12E50
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