Diener 等离子表面处仪 Tetra6
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Tetra6特点
腔室:Dia.90,L1050mm
腔室容积:约 6 升
气体供给:MFC 控制的气体通道
发生器:40 kHz或13.56 MHz
控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
关键词:
Diener
等离子表面处仪
等离子
Tetra6
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