Diener 等离子表面处仪 Tetra4400
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Diener 等离子表面处仪
Tetra4400
腔室:宽 1350 mm、深 1250 mm、高 2600 mm
腔室容积:约4400 升
气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
发生器: 40 kHz,80kHz(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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