Diener 卷对卷等离子表面处仪 Tetra735
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Diener 卷对卷等离子表面处仪
Tetra735
开关柜:宽 2000 mm、高 2000 mm、深 1200 mm
腔室:宽 1500 mm、高 700 mm、深700 mm
处理幅宽:1200mm
卷轴直径:127mm
卷轴最大外径:220mm
腔室容积:约 735升
气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
发生器:1 个 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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等离子表面处仪
等离子清洗机
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