Bruker Dektak Pro布鲁克台阶仪
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Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的标杆，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。
上海尔迪仪器科技有限公司，联系电话：021-61552797
Dektak Pro可提供：
测量和分析功能，确保 每次都能获得准确、严谨的数据
多功能性和便捷性，精简的软件和简便的探针更换
通过直驱扫描平台和软件进步，减少获得结果的时间
Dektak Pro产品参数
| 测量技术 | 探针轮廓测量（接触测量） |
| 测量功能 | 二维表面轮廓测量；可选三维测量 |
| 样品视野 | 可选放大倍率， 0.275到2.2 mm |
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探针传感器
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低惯量传感器（LIS 3）
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探针压力
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1到15 mg，使用LIS 3传感器
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低作用力
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N-Lite+ 精微力传感器，0.03到15 mg（可选）
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探针选项
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探针半径选项从50 nm到25 μm；
高径比（HAR）针尖200 μm x 20 μm；
可根据客户要求提供定制针尖
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样品台 XY载物台
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手动100 mm（4"），手动调平；
电动150 mm（6"），手动调平；
带编码器电动200 mm（8"），手动调平
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样品旋转台
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手动或自动，连续360°
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减震装置
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减震装置可用（选配）
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扫描长度范围
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55 mm（2"）；200 mm（8"）具备扫描拼接能力
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每次扫描数据点
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可达120,000个数据点
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样品厚度可达
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50 mm (1.95")
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晶圆尺寸可达
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200 mm (8")
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台阶高度重复性
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4 Å, 1 sigma （ ≤1 μm 标准台阶样品)
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垂直范围
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1 mm (0.039")
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垂直分辨率
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1 Å (@ 6.55 μm 范围)
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输入电压
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100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz
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温度范围
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工作范围20到 25°C (68 到 77ºF)
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湿度范围
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≤80%, 无冷凝
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系统尺寸与重量
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尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9" W x 22.6" D x 14.5" H）；
重量：34 kg（75 lb）；
外壳尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L
x 23" W x 17.5" H）；
外壳重量：5.0 kg（11 lb）
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