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kashiyama MU系列真空泵产品介绍
- 分类：新闻资讯
- 作者：kashiyama真空泵
- 来源：
- 发布时间：2025-04-21 14:32
- 访问量：379
kashiyama MU系列真空泵产品介绍
kashiyama MU系列 真空泵购买，联系电话021-61552797
·在蚀刻等中等负载工艺中实现低功耗表现
·占地面积较同类 20,000L/min 泵缩小约 35%
·增强工艺耐久性并提高能源效率
·符合各种标准的规范产品规格
·升级的工艺耐久性与节能性能
kashiyama MU系列 产品规格
|
型号 |
MUP600E |
MUP1200E |
MUP1800E |
MUH3000 |
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最大排气速度（l/min） |
10000 |
19000 |
30000 |
50000 |
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极限压力(Pa) |
0.5 | |||
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电源(50/60Hz) |
3P AC200-220V |
|||
|
功率(kW) |
0.8 |
0.95 |
1.1 |
1.6 |
|
冷却水量/N2量 |
2l/min |
|||
|
氮气吹扫 |
0-45 |
0-60 |
||
|
外形尺(LWH)mm |
695×285×655 |
850x380x950 |
910X420X900 |
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等离子技术在表面激活的应用
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