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布鲁克Dektak Pro：第十一代探针式轮廓仪，重新定义精密测量的精度与效率
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- 作者：上海尔迪仪器科技有限公司
- 来源：www.verdegroup.cn
- 发布时间：2026-05-28 16:20
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布鲁克Dektak Pro：第十一代探针式轮廓仪，重新定义精密测量的精度与效率
作为Dektak系列的旗舰升级款，Dektak Pro凝聚布鲁克55年技术创新，将接触式测量的性能推至全新高度。核心精度表现：垂直分辨率1Å，台阶高度重复性稳定优于4Å，数据精准度与重复性比肩实验室顶级标准。
搭载直驱扫描台与Vision64智能软件，自动台阶检测减少人为误差，2D/3D形貌、应力、晶圆翘曲一键分析。硬件兼容强大：支持200mm（8英寸）样品，扫描长度达55mm，凭借可达200mm；可选N-Lite+精微力传感器，0.03mg超低探针力适配薄膜、软材料，杜绝表面损伤。
从半导体晶圆、光学镀膜、显示面板，到MEMS器件、生物材料与高端质检，Dektak Pro以高精度、高效率、高兼容，成为研发与工业量产的标配之选。
Dektak Pro 特点综述：
1. 布鲁克Dektak Pro，55年积淀，纳米级轮廓测量金标准
2. 精度致胜，效率为先，Dektak Pro探针式台阶仪，定义精密测量新高度
3. 从研发到量产，一仪掌控Dektak Pro，半导体/材料科学的微米级慧眼
- 第十一代旗舰，4Å重复性，200mm大样品兼容，一键式智能分析
核心点：
• ✅ 55年技术积淀，行业金标准
• ✅ 4Å重复性，1Å垂直分辨率
• ✅ 200mm大样品台，适配8英寸晶圆
• ✅ 0.03mg超低探针力，无损测量
• ✅ 直驱扫描+智能软件，高效省心
• ✅ 半导体/光学/MEMS/材料科学全适配
Dektak Pro精测入微，智控全局。
详细技术参数请致电沟通，021-61552797
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