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YAMATO 等离子清洗机 PDC200/210/510

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1111

YAMATO 等离子清洗机 PDC200/210/510

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产品编号
所属分类
等离子装置
数量
-
+
库存:
0
技术应用链接:

使用等离子的表面处理装置。着重于"使用简单"的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。

特点
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装

用途
● DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIE(DP模式选配)

RIE/DP

电极构造

平行平板(固定)

高频输出

Max300W

Max500W

频率

13.56MHz

控制·显示

液晶触摸屏

反应室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

电极尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反应室材质

反应气体

2系统(Ar、O2)

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量控制

流量计

聚合控制器

真空泵

另行选配

油泵(约345L/分)标配

油泵(约500L/分)标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

约100kg

约105kg

约180kg

电源

单相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

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