YAMATO 内部观察装置 FS
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产品编号
所属分类
内部观察装置
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可以满足从研发到批量检查需要，高速、高精度的测量和分析更加容易。
特点
● 高精度•高分辨率 高性能超声波组件和高精度扫描仪组合，微小的缺陷也不会漏检。 配置有最高频率达500MHz的宽带、高灵敏度超声波组件，并通过组合高 精度扫描仪，可以检测的最小间距达0.5μm。
● 高速批量检查 可以在短时间内方便地测量高可靠性的数据。
配备最大扫描速度1,000mm/s的扫描仪，以及连续自动测量、高速测量功 能等，可以在更短的时间内进行测量。单击鼠标即可从图像索引开始进行测 量，并迅速进行评价、判定。
● 深•多样
各种分析软件不断进化。 波形、强度、深度等超声波数据的分析软件不断进化，同时，高频、透射法 探头等测量工具也更加丰富。
● 操作性•安全性 重视使用便利性和安全性，可以装卸两侧的大型窗、LED照明、探头识别 功能（根据不同的机型作为标准配置）、电源开关的保护盖、前面透明面 板，并设置有传感器等。、
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CSP（Chip Size Packing） 凸块接合、底部填充空隙
（低于芯片厚度的凸块）
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树脂 观察填充物、流动情况等
（直径10μm的玻璃纤维）
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电源模块、汽车零件 车载半导体、金属产品等
（IGBT的粘合界面的缝隙）
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电子元件、陶瓷元件 电容器、传感器等的层间剥离、裂纹
（贴片电容器不同深度的层间剥离）
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MEMS（Micro Electro Mechanical Systems） 研发产品等
（硅晶片粘合界面）
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金属产品 钎焊部位的剥离、空隙
（靶材界面）
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规格
| 满足高精度需求的高分辨率SAT | 通过组合最高频率达500MHz的高灵敏度组件、高精度扫描仪与日立开发的高分辨率探头，可以检测细微的缝隙。 |  |
| 从大范围到极小范围，涵盖各种各样的试件 | 实现高精度测量，能够扫描最小间距0.5μm，在一次测量中，可以以微小间距测量硅晶片、JEDEC托盘等。而且，从厚到 薄，涵盖了广泛的测量对象，从而丰富了探头系列，从低频到高频均有，透射法测量的精度更高。 |  |
| 更快更方便地获得可靠性更高的数据 | 通过采用高速、高精度扫描仪以及新型图像处理单元，可以在短时间内获得再现性高的数据。而且，在依据登录条件进行测 量的图像索引，以及连续自动测量多个试件的网格扫描中，设置了补偿功能，可以补偿中心位置以及试件高度，从而提高了 数据的可靠性。主机开口部较宽敞，利用升降机（选购）可以快捷、方便地更换试件。 |  |
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利用先进的软件实现详细的评价分析
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进一步进化了波形分析、计测、剥离判定、深度信息等的分析软件。 可以实时进行±相位、绝对强度、深度数据的数据比较，在重叠显示波形时，即使时间轴不同也可自动调整时间轴、并进行保存。 另外，利用的像素间插值处理以及自动对比度处理等，可以方便地获得更易观察的数据。而且，作为标准配置，在采用全点波 形的实时3D（扫描）功能和多门功能中，最多可以设定64个门，可以批量保持各门内的数据（探伤条件+图像：tiff、图像格式： bmp、Jpeg、gif、png）并能将图像数据保存在一个文件内（tiff）。 |  |
各种护展性
● 丰富的探头系列 从低频到高频，根据不同的测量条件，备有多达70多 种的探头。
● 适应多种多样的试件 利用水槽的升降功能，无需弄湿手即可更换试件。 可以利用反射法、透射法同时进行测量。 通过使用透射法探头，可以利用反射法、透射法同 时进行测量，并实现图像化。
● 周边设备
还配有提高高频灵敏度的温控单元，以及双监视器等。
| 宽敞的开口部，注重安全性 | 为了便于取放试件，开口部一直扩展至上方。在开口部的整个 区域内设置有区域传感器，作为标准配置，还配置有急停按 钮、漏水传感器、门传感器、钥匙开关等安全机构。另外，在 FS200、FS300还配有探头自动识别功能。 |  |
| 在细节上满足用户的工作需求 | 作为日立的原装配置，除了便于固定试件的磁性板，还有 在日常检查中不可或缺的标准试验片等。另外，还配有维 护工具箱、给水水箱等，软件方面还设计有帮助功能等， 在细节上满足用户的工作需求。 |  |
| 追求使用便利性和安全性 |
利用可以装卸两侧的大型窗、LED照明、探头
识别功能（根据不同的机型作为标准配置）、电 源开关的保护盖、前面透明面板、并设置有传感 器等，让您使用更方便。而且，通过探头的自动 识别功能，可以防止误设定而损坏探头。
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关键词:
YAMATO
内部观察装置
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