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YAMATO 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C

产品分类

DTN
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1111

YAMATO 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C

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产品编号
所属分类
YAMATO
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技术应用链接:
特点最高工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。安全性拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。
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型号

DTN430C

DTN630C

DTN450C

DTN650C

方式

氮气置换 + 强制送风循环

性能

使用温度范围

室温 +50 ~ 360℃

室温 +50 ~ 500℃

温度调节精度

±0.5℃(at360℃)

±1.0℃(at500℃)

温度分布精度

±5.0℃(at360℃)

±8.0℃(at500℃)

最高温度到达时间

约 80分 

约 110 分

氧浓度

20ppm 以下

氧浓度到达时间

≤ 20 分(250L/min 氮气)

≤ 25 分(250L/min 氮气

)≤ 20 分(250L/min 氮气)

≤ 25 分(250L/min 氮气)

洁净度

温度恒定时 100 级

构成

内装

不锈钢板

外装

冷轧钢板,表面耐药品性涂装

断热材

硅酸铝棉

加热方式

不锈钢加热管

合金加热丝

加热功率

主加热器

6.75KW

9KW

9.5KW

14.2KW

N2 预热

1KW

冷却机构

不锈钢冷却水换热器

HEPA 过滤器

集尘效率:0.3um 粒子 99.97% 以上

控制器

温度控制方式

PID 控制

温度控制器

液晶触摸屏 +PLC

运行功能

手动定值运行、自动程序运行

程序模式

程序运行 9 个,每个程序可设置 9 步(可扩展)

附加功能

操作员等级认证

加热器回路控制

SSR 驱动

传感器

K 型热电偶(温度控制及过升防止器)

安全装置

门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、
风机过载检测、过电流漏电保护开关等

规格

内尺寸(宽 × 深 × 高 mm)

450×450×450

660×500×660

450×450×450

660×500×660

外形尺寸(宽 × 深 × 高 mm)

1090×950×1540

1300×1000×1750

1240×1010×1750

1450×1060×1960

内容积

91L

216L

91L

216 L

棚板层数 / 层间距

12 层 /30mm

19 层 /30mm

12 层 /30mm

19 层 /30mm

排气口

40KF 法兰

氮气入口

Rc1/2

冷却水入口

Rc3/4

热水出口

Rc3/4,2 个

电源(50/60Hz)额定电流

3 相 AC380V 16A

3 相 AC380V 19A

3 相 AC380V 20A

3 相 AC380V 27A

重量

约 900kg

约 1100kg

约 900kg

约 1100kg

选购品

棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机 / 运行 / 故障)、以太网通信功能

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