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Diener 等离子清洗机 FEMTO

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Diener 等离子清洗机 FEMTO

· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理 · 配置自动/手动模式,实现控制高机能 · 经济型等离子清洗机,小型腔体 · 适合于研究院、高校、研发中心使用 · 操作简单易使用
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Diener等离子清洗机FEMTO特点:低压等离子系统,用于不同材料表面的处理配置自动手动模式,实现控制高机能经济型等离子清洗机,小型腔体适合于研究院、高校、研发中心使用操作简单易使用

Diener等离子清洗机FEMTO技术参数:

型号:FEMTO/FEMTOPCCE

控制系统:手动控制/PCCE控制

系统工艺气路:双路或三路

气体工艺气体:O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等非腐蚀性气体或者CF4、SF6等腐蚀性气体单体导入H2O,亲疏水涂层等单体(选配)流量计针阀流量计(防腐蚀)MFC流量计(防腐蚀)

真空腔体材质:高硼硅玻璃/石英盖子门铰链门带观察窗/不锈钢盖子门铰链门带观察窗铝合金/铰链门带观察窗

容积2L~4.2L2.2L~6.4L4L~8L

 

 

更多详细资料,可联系上海尔迪仪器科技有限公司,拨打电话021-61552797

关键词:
Diener
等离子清洗机
FEMTO
等离子
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