技术应用链接:
Diener 等离子表面处理仪
Tetra100特点：
·便捷的触摸屏操作界面
·数字及图标多重工艺参数实时显示方式
·异常报警功能
·自动/手动操作模式可切换
·储存多套工艺程序
·远程操控，数据导出
·模块多样化选择，多层托盘可选，处理量大
Diener 等离子表面处理仪
技术规格：
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型号 |
Tetra 100 |
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控制系统 |
控制方式 |
全自动控制（自动/手动切换） |
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BASIC PC |
FULL PC |
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操作系统 |
Windows CE |
Windows 10 |
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触摸屏 |
3.5/7” |
7/15” |
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工艺气体 |
O2 Ar N2 Air SF6 CF4等 |
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工艺气路 |
1-3路（可选） |
1-10路（可选） |
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流量计 |
MFC /防腐型MFC |
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真空腔体 |
不锈钢W400xD625xH400/100L 铝合金W400xD625xH400/100L |
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电极 |
材质 |
铝/不锈钢电极 |
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层数（可选） |
1-10（可选） 1-2层 1-5层 |
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发生器
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40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W |
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真空压力计（mba) |
皮拉尼传感器（0-9.99) |
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托盘 |
不锈钢/铝 |
实板/镂空 |
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层数 |
1-10（可选） |
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外形尺寸WDH（mm) |
600x850x1700(2100) |
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电源 |
AC400 V / 16 A |
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真空泵抽气速度 |
根据工艺选择 |
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选配件 |
单体导入模块、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、RIE电极（刻蚀）、石英舟、干泵 |
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关键词:
Diener
等离子表面处理仪
Tetra100
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