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Diener 等离子表面处理仪 PICO

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Diener 等离子表面处理仪 PICO

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产品编号
所属分类
真空型
数量
-
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库存:
0
技术应用链接:

特点:

· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式,实现控制高机能

· 4” Wafer去胶清洗

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 操作简单易使用

 

 

技术规格:

型号

PICO

PICO PCCE

控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路或三路气体

工艺气体

O2ArN2CO2H2Air等非腐蚀性气体或者CF4 SF6等腐蚀性气体

单体导入

H2O,亲疏水涂层等单体(选配)

流量计

针阀流量计(防腐蚀)

MFC流量计(防腐蚀)

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃/石英

盖子门/铰链门带观察窗

不锈钢

盖子门/铰链门带观察窗

铝合金

铰链门

圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm

150×320(600) *1

130×300( 600) *1

方形腔体内尺寸  W×D×Hmm

160×325( 600) *1×160mm

150×325600*1×160

容积

5.6L~10.6L

8L~15L

7.8L~14L

电极

360度外置环绕电极

平行平板电极

发生器*

 

40 kHz     0-200W

100 kHz    0-500W

13.56 MHz  0-50W 或者 0-100W 或者0-300W

2.45 GHz   0-300W

真空压力计

指针式压力计

皮拉尼数字式压力计

计时器

模拟数字式

数字式

托盘

高硼硅玻璃,石英,不锈钢,铝合金

外形尺寸(WXDxHmm

560x600-750x460-860mm

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度不小于8m3/H

 

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