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Diener 等离子表面处理仪 Femto A

产品分类

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1111

Diener 等离子表面处理仪 Femto A

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产品编号
所属分类
真空型
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技术应用链接:

特点

· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式,实现控制高机能

· 经济型等离子清洗机,小型腔体

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 操作简单易使用

 

 

技术参数:

型号

FEMTO A

控制系统

手动控制

工艺气路

单路气体

工艺气体

O2ArN2CO2H2Air

流量计

针阀流量计

单体导入

H2O,亲疏水涂层等单体(选配)

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃/石英,盖子门带观察窗

不锈钢盖子门带观察窗

内尺寸(Φ×D)

95×280mm

100×278mm

容积

2L

2.2L

电极

360度外置环绕电极

平行平板电极

发生器

 

40KHz 0-100W

13.56MHz 0~50W 

13.56MHz 0~100W 

真空压力计

皮拉尼数字式压力计(选购)

计时器

模拟数字式

托盘

高硼硅玻璃,(石英选配),不锈钢

外形尺寸(WXDxHmm

345x420570x211

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度4m3/H

 

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