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Diener 等离子表面处仪 Tetra6

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Diener 等离子表面处仪 Tetra6

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Tetra 6 LF-PC

腔室:Dia.90,L1050mm

腔室容积:约 6 升

气体供给:MFC 控制的气体通道

发生器:40 kHz或13.56 MHz 

控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

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