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Tetra 2800 LF-PC | 特殊设备
开关柜:宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
腔室:∅ 1200 mm,深 2500 mm
腔室容积:约 2800 升
气体供给:通过 MFC 控制的 3 个气体通道
发生器:1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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上海尔迪仪器科技有限公司
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