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Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE

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Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE

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产品编号
所属分类
蚀刻机
数量
-
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0
技术应用链接:

特点:

·适用于8”以下样品的处理

·等离子蚀刻机,可实现快速且一致的样品表面刻蚀

·全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布

·电极水冷确保了样品的温度不会偏高

·工业Windows控制系统,多段程序控制功能,实现一键蚀刻功能

·适合于研究院、高校、研发中心等使用,也可小批量生产

 

规格

型号

TETRA 8 RIE

控制系统

基于软件WINDOWS 10PC控制系统

程序存储

100

工艺过程监控

二维折线图与数字实时显示

参数偏离值设定

初抽真空时间、进气量偏差值,实际功率输出值

报错功能

显示详细的报错信息

数据导入导出

USB/TCP IP

选程控制

Team viewer

工艺气路

两路进气通道(两路腐蚀性气体)

一路冲洗管路

一路泄气管路

流量计

MFC流量计

真空腔体

圆形不锈钢腔体腔体

尺寸:Φ280mm x D 127mm 8L

腔体可做防腐

托盘

铝板、不锈钢板、硼硅玻璃

电极

RIE(蚀刻专用)电极配有气浴

电极水冷

 

 

 

冷却系统

冷却真空腔体和电极

发生器

13.56 MHz 0-600W 自动匹配

安全开关

门开关、皮拉尼开关、真空开关

真空压力计

2pcs 电容式真空计

外形尺寸(W×H×D)

1800mm×2200mm×1800mm

电源

AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A

真空泵

防腐真空泵抽速不低于90 m³/h

分子泵排气速度

冷却系统

冷水机对真空腔体,电极进行冷却

 

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