技术应用链接:
特点
· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式，实现控制高机能
· 中型尺寸腔体可处理多种样品
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
技术规格：
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型号 |
NANO |
NANO PCCE |
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控制系统 |
手动控制 |
PCCE 控制系统 |
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工艺气路 |
双路或三路气体 |
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工艺气体 |
O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体 |
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单体导入 |
H2O，亲疏水涂层等单体（选配） |
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流量计 |
针阀流量计（防腐蚀） |
MFC流量计（防腐蚀） |
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真空 腔体 |
材质 |
高硼硅玻璃/石英 盖子门/铰链门带观察窗 |
不锈钢 盖子门/铰链门带观察窗 |
铝合金腔体 铰链门 |
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圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm |
240×400(600) *1 |
267×420（600）*1mm |
— |
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方形腔体内尺寸 （W×D×H）mm |
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240×420（600）*1×240mm |
240×420（600）*1×240 |
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容积 |
18L~27L |
24L~34L |
24L~34L |
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电极 |
360度外置环绕电极 |
平行平板电极 |
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发生器*
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100 kHz 0-500W 80 kHz 0-1000W 13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W 2.45 GHz 0-600W |
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真空压力计 |
指针式压力计 |
皮拉尼数字式压力计 |
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计时器 |
模拟数字式 |
数字式 |
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托盘 |
高硼硅玻璃（石英选配），不锈钢 |
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外形尺寸（WXDxH）mm |
560x600-750x600-860mm |
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电源 |
AC220V 50Hz 10A |
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真空泵 |
排气速度不小于16m3/H |
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下一个
等离子清洗机 YSP63FA
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