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Diener 等离子清洗机 NANO

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产品编号
所属分类
真空型
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-
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0
技术应用链接:

特点

· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式,实现控制高机能

· 中型尺寸腔体可处理多种样品

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

 

 

技术规格:

型号

NANO

NANO PCCE

控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路或三路气体

工艺气体

O2ArN2CO2H2Air等非腐蚀性气体或者CF4 SF6等腐蚀性气体

单体导入

H2O,亲疏水涂层等单体(选配)

流量计

针阀流量计(防腐蚀)

MFC流量计(防腐蚀)

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃/石英

盖子门/铰链门带观察窗

不锈钢

盖子门/铰链门带观察窗

铝合金腔体

铰链门

圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm

240×400(600) *1

267×420600*1mm

方形腔体内尺寸  W×D×Hmm

240×420600*1×240mm

240×420600*1×240

容积

18L~27L

24L~34L

24L~34L

电极

360度外置环绕电极

平行平板电极

发生器*

 

100 kHz   0-500W

80 kHz    0-1000W

13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W

2.45 GHz  0-600W

真空压力计

指针式压力计

皮拉尼数字式压力计

计时器

模拟数字式

数字式

托盘

高硼硅玻璃(石英选配),不锈钢

外形尺寸(WXDxHmm

560x600-750x600-860mm

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度不小于16m3/H

 

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