Diener 等离子清洗机 FEMTO
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Diener等离子清洗机FEMTO特点：低压等离子系统，用于不同材料表面的处理配置自动手动模式，实现控制高机能经济型等离子清洗机，小型腔体适合于研究院、高校、研发中心使用操作简单易使用
Diener等离子清洗机FEMTO技术参数：
型号：FEMTO/FEMTOPCCE
控制系统：手动控制/PCCE控制
系统工艺气路：双路或三路
气体工艺气体：O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4、SF6等腐蚀性气体单体导入H2O，亲疏水涂层等单体（选配）流量计针阀流量计（防腐蚀）MFC流量计（防腐蚀）
真空腔体材质：高硼硅玻璃/石英盖子门铰链门带观察窗/不锈钢盖子门铰链门带观察窗铝合金/铰链门带观察窗
容积2L~4.2L2.2L~6.4L4L~8L
更多详细资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司，拨打电话021-61552797
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