Diener 等离子清洗机 FEMTO
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Diener等离子清洗机FEMTO特点：低压等离子系统，用于不同材料表面的处理配置自动手动模式，实现控制高机能经济型等离子清洗机，小型腔体适合于研究院、高校、研发中心使用操作简单易使用Diener等离子清洗机FEMTO技术参数：型号FEMTOFEMTOPCCE控制系统手动控制PCCE控制系统工艺气路双路或三路气体工艺气体O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4、SF6等腐蚀性气体单体导入H2O，亲疏水涂层等单体（选配）流量计针阀流量计（防腐蚀）MFC流量计（防腐蚀）真空腔体材质高硼硅玻璃石英盖子门铰链门带观察窗不锈钢盖子门铰链门带观察窗铝合金铰链门带观察窗圆形腔体内尺寸Dmm95280600100278600方形腔体内尺寸（WDH）mm103285600103mm110300600120容积2L~4.2L2.2L~6.4L4L~8L电极360度外置环绕电极平行平板电极发生器*40KHz0~100W100KHz0-500W13.56MHz0~50W或者0~300W2.45GHz0-300W真空压力计指针式压力计皮拉尼数字式压力计计时器模拟数字式数字式托盘高硼硅玻璃石英，不锈钢外形尺寸（WXDxH）mm310-560x420-600x330-860mm电源AC220V50Hz10A真空泵排气速度不小于4m3H更多详细资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司，拨打电话021-62211270！拨打电话021-62211270！
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