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布鲁克三维光学表面测量系统GT-X

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布鲁克三维光学表面测量系统GT-X

Bruker GT-X型三维光学表面测量系统是Bruker 公司三维光学显微镜Contour系列中的旗舰产品。具备全自动、大样品测试能力的GT-X是目前市场上大视场、垂直分辨率最高、可定标的计量式表面测试系统。从最基本概念设计开始,GT-X就是为满足目前最具挑战性的测量需求,如产品研发、质量保证和工艺监控等各种苛刻要求,而打造的。
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所属分类
白光干涉仪
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        Bruker GT-X型三维光学表面测量系统是Bruker 公司三维光学显微镜Contour系列中的旗舰产品。具备全自动、大样品测试能力的GT-X是目前市场上大视场、垂直分辨率最高、可定标的计量式表面测试系统。从最基本概念设计开始,GT-X就是为满足目前最具挑战性的测量需求,如产品研发、质量保证和工艺监控等各种苛刻要求,而打造的。下面是Bruker GT-X产品的独特技术优势:

  1. 计量准确性和测试灵活性的标杆
  • 专利高亮度长寿命双LED照明光源的独有计量传感设计,确保测量各种不同反射率样品时均能获得准确有效数据。

 

  • 计量式优化激光自校准的独有设计,保证每一次测量过程中,高度数据都准确、有据可依。长期使用时无需担心设备出现偏差,也不再需要通过人工进行标样校准。

  • 配合精密扫描头部设计,整体大理石成型的落地式集成防震系统,确保设备测量时杰出的测试数据重复性和长期使用时优异的可靠性。

 

 

2. 最高效、最快速的纳米级测量结果

  • 全自动测量功能集于一身,包括高速自动聚焦、自动亮度调整、自动扫描头倾斜优化、自动样品台编程、自动放大镜选择等。

  • 在大起伏表面仍能得到纳米分辨,其RMS重复性高达0.004 nm

3. 最强大的测量与分析功能

  

  • 可定制的模块化可视操作软件界面,包含用于实验室的工程师界面或工厂的生产界面。

  

 

  • 实时的自动优化测量和三十多年积累的丰富数据分析功能:用户通过引导界面,轻松实现对所需测量样品位置、测量参数、结果分析和数据输出等的设定,编写测试和分析程序后,可自动实现批量样品多点测试和大面积范围扫描等。还可以在数据库中设定规格控制标准自动对合格/不合格产品甄别。

 

 

 

关键词:
非接触光学轮廓仪
BRUKER
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