常压等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效避免了液体清洗介质带来的二次污染。真空泵连接到等离子清洗机。工作时，清洗室内的等离子体轻轻清洗待清洗物体的表面，可以在短时间内彻底清洗有机污染物。同时，污染物被真空泵抽走，清洁度达到分子水平。

常压等离子清洗机的等离子装置是将两个电极设置在一个密封的容器中形成电场，用真空泵达到一定的真空度。随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离越来越长。在电场的作用下，它们碰撞形成等离子体，此时会发出辉光，所以称之为辉光放电处理。辉光放电过程中的气压对材料处理效果有很大影响，还与放电功率、气体成分和流速、材料类型等因素有关。

不同的放电模式、工作物质状态和上述影响等离子体产生的因素可以结合起来，形成各种低温等离子体处理设备。低温等离子体技术具有工艺简单、操作方便、处理速度快、处理效果好、环境污染小、节能等优点，广泛应用于表面改性。

常压等离子清洗机有三种常见频率：

1、25-40kHz，通常称为产生中频和超声波等离子清洗机的电源。中频等离子体的自偏压约为1000伏，应用于大体积真空室。其特点是等离子体能量高，但等离子体密度低，不需要匹配。正常情况下是5 kW到20 kW。另外，在大气等离子清洗机中，一般采用相对容易激发的中频等离子电源。这个频率特性集中在表面处理的实际应用中受激离子的物理性质。

2、13.56MHz，射频，最常用的常压等离子清洗机电源。射频等离子体的自偏压约为250伏，广泛应用于体积相对较小、表面处理要求较高的真空室中。其特征在于相对低的等离子体能量但高的等离子体密度。效果统一，但成本略高。一般是100瓦到1250瓦。这种频率特性在表面处理的实际应用中考虑了受激离子的物理和化学性质。

3、2.45GHz，微波，成本太高，微波等离子体的自偏压只有几十。目前商业生产应用较少倾向于实验室的小体积钟罩式常压等离子清洗机，其能量较低但密度较高。在实际应用表面处理时，这种频率特性倾向于利用激发态离子的化学性质。

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