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Bruker Dektak XT台阶仪在半导体芯片中的应用
- 分类：新闻资讯
- 作者：Bruker Dektak XT
- 来源：www.verdegroup.cn
- 发布时间：2022-08-08 10:05
- 访问量：221
Bruker Dektak XT台阶仪在半导体芯片中的应用
Bruker Dektak XT台阶仪在半导体芯片中的应用
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高度方向采用先进的LVDT线性位移传感器，该传感器因其结构为无接触式，使其具有无摩擦、无磨损等特点。
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台阶高度重现性小于4Å。
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垂直分辨率高达1 Å。
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标配探针更换工具，保证探针更换安全快捷。
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标配薄膜应力测试功能。
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精简的Vision64 软件系统，结合智能结构， 具备可视化工作流程及各种自助设定功能，以满足用户快速并全面进行数据收集和分析。
晶圆在生产制造的过程中，会对晶圆进行镀膜以及刻蚀工艺，镀膜后要进行膜厚的测量，刻蚀后要进行刻蚀的深度等进行测量，从而判断是否满足工艺要求。台阶仪因其使用方便、快捷、准确等特点，而成为工程师们测膜的选择。
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