搜索
确认
取消

创新和专业技能

上海尔迪仪器科技有限公司是一家从事仪器设备销售、技术服务与工艺开发的创新公司。主营产品有:等离子清洗机,进口等离子清洗机,常压等离子清洗机,等离子去胶机,等离子蚀刻机,手持式等离子清洗机,Kashiyama真空泵,YAMATO喷雾干燥器等。始终秉承“诚实守信、拼搏创新、永续经营、售后放心”的核心理念为客户提供优质的产品和服务,

为打造中国传动行业知名企业、为推动中国传动行业走向国际而不懈努力。

>
>
>
等离子蚀刻机:等离子蚀刻机的结构

新闻资讯

资讯分类

等离子蚀刻机:等离子蚀刻机的结构

  • 分类:行业新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2021-01-11 11:42

等离子蚀刻机:等离子蚀刻机的结构

等离子蚀刻机


等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。


等离子蚀刻机结构:

ICP设备主要包括四个部分:预真空室,蚀刻室,供气系统和真空系统。

(1)预真空室

预真空室的功能是确保蚀刻室保持在设定的真空度,并且不受外部环境(例如:灰尘,水蒸气)的影响,并将危险气体与洁净室隔离 。 它由盖板,机械手,传动机构,隔离门等组成。


(2)蚀刻腔体

蚀刻腔体是ICP蚀刻设备的核心结构,它直接影响蚀刻速率,蚀刻的垂直度和粗糙度。 蚀刻室的主要部件是:上电极,ICP射频单元,RF射频单元,下电极系统,温度控制系统等。


(3)供气系统

供气系统将各种蚀刻气体输送到蚀刻室,并通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)精确控制气体的流速和流量。供气系统由气源瓶,供气管道,控制系统,混合装置等组成。


(4)真空系统

真空系统有两套,分别用于预真空室和蚀刻室。预真空室通过机械泵单独排空。 仅当预真空室的真空度达到设定值时,隔离门才能打开以转移薄膜。 刻蚀室的真空由机械泵和分子泵提供,刻蚀室的反应产生的气体也由真空系统抽空。

用于等离子体蚀刻的ICP源通常是平面结构,易于获得可调节的等离子体密度和等离子体均匀性分布。 此外,平面ICP源使用的介电窗也易于加工。 石英和陶瓷是常用的介电窗材料。

关键词: