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尔迪详解|原子力显微镜中的系统分类

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尔迪详解|原子力显微镜中的系统分类

  • 分类:新闻资讯
  • 作者:原子力显微镜
  • 来源:www.verdegroup.cn
  • 发布时间:2021-08-11 10:51

尔迪详解|原子力显微镜中的系统分类

原子力显微镜型号推荐:Dimension FastScan、Dimension ICON、MultiMode8 、NanoWizard 4 XP、Innova SPM、Dimension XR

今天主要来说一下原子力显微镜的系统。在原子力显微镜的系统中,可分成三个部分:力检测部分、位置检测部分、反馈系统。

 

力检测部分

在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂(cantilever)来检测原子之间力的变化量。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖,用来检测样品-针尖间的相互作用力。这微小悬臂有一定的规格,例如:长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状,而这些规格的选择是依照样品的特性,以及操作模式的不同,而选择不同类型的探针。

 

位置检测部分

 

在原子力显微镜(AFM)的系统中,当针尖与样品之间有了交互作用之后,会使得悬臂cantilever摆动,所以当激光照射在微悬臂的末端时,其反射光的位置也会因为悬臂摆动而有所改变,这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号,以供SPM控制器作信号处理。

 

反馈系统

 

在原子力显微镜(AFM)的系统中,将信号经由激光检测器取入之后,在反馈系统中会将此信号当作反馈信号,作为内部的调整信号,并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动,以保持样品与针尖保持一定的作用力。

 

总结

AFM系统使用压电陶瓷管制作的扫描器控制微小的扫描移动。压电陶瓷是一种性能奇特的材料,当在压电陶瓷对称的两个端面加上电压时,压电陶瓷会按特定的方向伸长或缩短。而伸长或缩短的尺寸与所加的电压的大小成线性关系。也就是说,可以通过改变电压来控制压电陶瓷的微小伸缩。

通常把三个分别代表X,Y,Z方向的压电陶瓷块组成三脚架的形状,通过控制X,Y方向伸缩达到驱动探针在样品表面扫描的目的;通过控制Z方向压电陶瓷的伸缩达到控制探针与样品之间距离的目的

 

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上海尔迪仪器科技有限公司是一家从事仪器设备销售、技术服务与工艺开发的创新公司。尔迪仪器与Diener electronic GmbH + Co. KG在上海共同组建等离子表面处理与聚对二甲苯涂层系统实验室,为亚太客户提供样机使用、工艺开发与验证,以及小批量代工服务。

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