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电感耦合等离子蚀刻机的一些知识点
- 分类：行业新闻
- 作者：等离子蚀刻机
- 来源：www.verdegroup.cn
- 发布时间：2020-12-22 12:34
- 访问量：417
电感耦合等离子蚀刻机的一些知识点
随着半导体技术的发展，由于其固有的局限性，湿法刻蚀已经不能满足超大规模集成电路微米甚至纳米级细线的加工要求，干法刻蚀也逐渐发展起来。在干法刻蚀中，电感耦合等离子蚀刻机因其离子密度高、刻蚀均匀性好、刻蚀侧壁垂直度高、光滑度好等优点，逐渐广泛应用于半导体技术中。
影响电感耦合等离子蚀刻机过程的因素分析
1.电感耦合等离子蚀刻机的射频功率。在刻蚀腔内气体流量、腔压、下电极射频功率和温度不变的情况下，刻蚀速率随着电感耦合等离子刻蚀机射频功率的增加而增加。当射频达到一定功率时，随着射频功率的增加，刻蚀速率会降低。原因是当电感耦合等离子蚀刻机的射频功率由小变大时，等离子体密度会增大，刻蚀出更多的离子和自由基，刻蚀速率相应加快。由于刻蚀气体流量不变，当ICP射频功率达到一定值时，刻蚀气体电离程度不再增加，进而ICP射频功率增加，会大大增加中性粒子与腔室侧壁和离子碰撞的几率，但会导致刻蚀速率变慢。
2.压力。随着刻蚀室内气体流量、电感耦合等离子蚀刻机射频功率、下电极射频功率和温度的不变，刻蚀速率随着压力的增加而降低。随着压力的增加，刻蚀腔内等离子体的碰撞几率增加。碰撞后，等离子体的速度变慢，对衬底的轰击强度大大减弱，在衬底表面形成一层硬膜，导致刻蚀速率降低。
现代半导体技术对刻蚀的要求越来越高，电感耦合等离子蚀刻机的刻蚀设备满足了这一要求。为了保证工艺的稳定性和可重复性，设备的稳定性是关键因素之一。掌握电感耦合等离子蚀刻机设备的原理、组成和结构以及影响刻蚀过程的各种因素，可以大大缩短设备故障后的修复时间。此外，设备的定期维护也是保证设备稳定性的重要手段。
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