XRF是指X射线荧光光谱分析。X射线荧光分析是确定物质中微量元素的种类和含量的一种方法，又称X射线次级发射光谱分析，是利用原级X射线光子或其它微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生次级的特征X射线（X光荧光）而进行物质成分分析和化学态研究。

XRF优点:

·对于已压铸好的机械零件可以做到无损检测，而不毁坏样品。

·测试速率高，可以在较少时间内进行大量样品测试，分析结果可以通过计算机直接连网输出。

·分析速度较快。

·对于纯金属可采用无标样分析，精度能达分析要求。

·不需要专业实验室与操作人员，不引入其它对环境有害的物质。

HHXRF ：手持式X射线荧光分析仪

PXRF ：便携式X射线荧光分析仪

2.WDXRF

波长色散型X射线荧光光谱法。样品被入射X射线激发产生的荧光X射线，经分光器色散后，由测角仪（θ）联动装置上的探测器（2θ），在不同方向（角度-2θ）上，对X射线荧光光谱进行谱线波长和强度测量，最终给出待测元素含量报告的X射线荧光光谱分析仪器。相比较于利用能量色散型X射线荧光光谱法的分析仪，其价格更加昂贵。

3.EDXRF

能量色散型X射线荧光光谱法。根据元素辐射x射线荧光光子能量不同，经探测器接收后用脉冲高度分析器区别，进行元素鉴定;根据分析线脉冲高度分布的积分强度.进行元素定量的分析方法。快速、经济的X射线荧光技术，普遍被运用在手持式的X射线荧光分析仪中。

4.X射线管

两种类型的X射线荧光光谱仪都需要用X射线管作为激发光源。灯丝和靶极密封在抽成真空的金属罩内，灯丝和靶极之间加高压（一般为50kV）,灯丝发射的电子经高压电场加速撞击在靶极上，产生X射线。

X射线管产生的一次X射线，作为激发X射线荧光的辐射源，X射线管产生的X射线透过铍窗入射到样品上，激发出样品元素的特征X射线，正常工作时，X射线管所消耗功率的0.2%左右转变为X射线辐射，其余均变为能使X射线管升温，因此必须不断的通冷却水冷却靶电极。

5.分光系统

分光系统的主要部件是晶体分光器，它的作用是通过晶体衍射现象把不同波长的X射线分开。根据布拉格衍射定律2dsinθ=nλ，当波长为λ的X射线以θ角射到晶体,如果晶面间距为d，则在出射角为θ的方向，可以观测到波长为λ=2dsinθ的一级衍射及波长为λ/2, λ/3…… 等高级衍射。

改变θ角，可以观测到另外波长的X射线，因而使不同波长的X射线可以分开。分光晶体靠一个晶体旋转机构带动。因为试样位置是固定的，为了检测到波长为λ的荧光X射线，分光晶体转动θ角,检测器必须转动2θ角。

也就是说,一定的2θ角对应一定波长的X射线，连续转动分光晶体和检测器，就可以接收到不同波长的荧光X射线。

6.莫斯莱定律

莫斯莱定律是揭示（黄光水射线彼长或级数）与元素原子序数关系的规律二x谱线频率的平方根与该元素原子序数成线性关系。

其数学式子为：

λ=K(Z-s)-2

式中K和S是常数，因此,只要测出荧光X射线的波长,就可以知道元素的种类,这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。

7.普朗克公式

量子力学知识告诉我们，X 射线具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作电磁波。看作粒子时的能量和看作电磁波时的波长有着一一对应关系。这就是著名的普朗克公式：E=hc/λ。

8.源激发和管激发

用放射性同位素源发出的X射线作为原级X射线的X荧光分析仪称为源激发仪器；

用X射线发生器（又称X光管）产生原级X射线的X荧光分析仪称为管激发仪器。

9.基本参数法

一种常用于X射线荧光技术的计算/校准的算法。它根据原子的基本物理特性，将不同的元素之间的干扰效应也纳入了算法中。当分析一个具有高密度的样本时（比如大多数的金属材料），这会是一个非常有效的方法。

10.质量衰减系数

质量衰减系数，亦称质量吸收系数，是指每平方厘米每克厚的吸收物质(g/cm²)，所减少的x线强度的百分数，也即每克质量物质对x射线衰减的程度，单位是cm²/g。

11.谱线干扰

待测元素分析线上有其他元素谱线重叠或部分重叠，导致分析结果产生误差，或该分析线无法用于光谱分析。有三种情况：分析线与干扰线波长基本相同，谱线完全重叠；分析线与干扰线波长相近，谱线部分重叠；分析线落在带状光谱上。采用色散率及分辨率高的摄谱仪，可减小或消除谱线干扰。

12.俄歇效应

俄歇效应（Auger effect）是原子发射的一个电子导致另一个或多个电子（俄歇电子）被发射出来而非辐射X射线（不能用光电效应解释），使原子、分子成为高阶离子的物理现象，是伴随一个电子能量降低的同时，另一个（或多个）电子能量增高的跃迁过程。

“俄歇效应”是以其发现者，法国人皮埃尔·维克托·俄歇（Pierre Victor Auger）的名字命名的。

13.X射线荧光

X射线荧光就是被分析样品在X射线照射下发出的X射线，它包含了被分析样品化学组成的信息，通过对上述X射线荧光的分析确定被测样品中各组份含量的仪器就是X射线荧光分析仪。

14. 多元素分析仪器

多元素分析仪器是国内先进的一种综合材料快速分析仪，可根据要求分别定制成黑色金属及有色金属中所有C、S、Mn、等常规元素百分含量的快速分析仪。

15.脉冲幅度分析器

脉冲幅度分析器，测量电脉冲信号幅度分布的仪器。它把脉冲信号按幅度的大小进行分类并记录每类信号的数目。常用于分析射线探测器的输出信号，测量射线的能谱。