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上海尔迪仪器科技有限公司是一家从事仪器设备销售、技术服务与工艺开发的创新公司。主营产品有:等离子清洗机,进口等离子清洗机,常压等离子清洗机,等离子去胶机,等离子蚀刻机,手持式等离子清洗机,Kashiyama真空泵,YAMATO喷雾干燥器等。始终秉承“诚实守信、拼搏创新、永续经营、售后放心”的核心理念为客户提供优质的产品和服务,

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尔迪介绍|台阶样板及光栅样板介绍

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尔迪介绍|台阶样板及光栅样板介绍

  • 分类:新闻资讯
  • 作者:上海尔迪仪器
  • 来源:www.verdegroup.cn
  • 发布时间:2023-05-11 14:51

尔迪介绍|台阶样板及光栅样板介绍

一、台阶样板

该类样板主要用来校准台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜等各种台阶高度测量仪器。

台阶高度范围:10nm~100μm;

台阶区域表面粗糙度Sa:优于5.0nm;

台阶区域均匀性:优于15nm;

台阶样片尺寸:10mm×10mm。

序号

台阶标称高度

1

10nm

2

20nm

3

30nm

4

50nm

5

100nm

6

200nm

7

500nm

8

1000nm

9

2μm

10

5μm

11

10μm

12

20μm

13

50μm

14

100μm

 

二、光栅样板

该类样板主要用来校准扫描电子显微镜、原子力显微镜等各种线条尺寸测量仪器。

样片类型:一维光栅、二维栅格

区域均匀性:优于15nm

尺寸范围:100nm10μm(一维光栅)、2μm10μm(二维栅格)

线条直线度:优于10nm

 

类型

具体结构

复合型光栅样板

包含一维结构:100nm200nm500nm1μm2μm5μm10μm

二维结构:2μm5μm10μm

微米级光栅样板

包含一维、二维光栅结构

结构尺寸:2μm5μm10μm

 

 

产品证书

 

 

如产品咨询,可拨打021-61552797

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